导读 是半导体制程里面离子注入(扩散)工艺的术语,指离子注入(参杂)浓度。,即在形成器件的硅衬底有源区参杂电子(5价离子)或者空穴(3价离
是半导体制程里面离子注入(扩散)工艺的术语,指离子注入(参杂)浓度。,即在形成器件的硅衬底有源区参杂电子(5价离子)或者空穴(3价离子),以达成电性要求。
标签:
免责声明:本文由用户上传,如有侵权请联系删除!
是半导体制程里面离子注入(扩散)工艺的术语,指离子注入(参杂)浓度。,即在形成器件的硅衬底有源区参杂电子(5价离子)或者空穴(3价离子),以达成电性要求。
标签:
免责声明:本文由用户上传,如有侵权请联系删除!
猜你喜欢
最新文章